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安光所獲安徽省2019年度技術發明一等獎

儀表研發 2020年07月15日 11:38:07 來源:中科院安徽光機所人氣:18993
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  【儀表網 儀表研發】6月29日上午,安徽省科學技術獎頒獎大會在合肥召開。會上表彰了完成安徽省2019年度技術發明一等獎獲獎項目“面向半導體集成電路光刻的準分子激光激勵源技術及應用”的安光所方曉東準分子激光團隊等一批團隊。
 
方曉東研究員
 
獲獎項目
 
  “面向半導體集成電路光刻的準分子激光激勵源技術及應用”項目團隊在國家科技重大專項等項目的支持下,針對半導體制造、平板制造等產業的國家重大戰略需求,突破了高性能準分子激光激勵源和能量穩定控制的技術瓶頸并取得多項核心的技術發明,在此的基礎上成功研制了4kHz全固化脈沖放電激勵系統并應用于首臺國產90nm光刻機光源,推動了半導體集成電路光刻機裝備的國產化進程。
 
  項目組發明了基于大功率半導體開關技術和磁脈沖壓縮技術的高重頻全固化脈沖放電激勵系統;發明了振蕩-放大(MOPA)結構高重頻準分子激光精確同步控制系統;發明了準分子激光能量精準控制和穩定系統;發明了高精度儲能電壓控制技術,提出了新的脈沖能量控制算法,創建了高重頻準分子激光脈沖能量穩定控制系統,滿足半導體集成電路光刻應用中對曝光劑量精準控制需求。
 
  項目技術成果已經應用于國產高端半導體集成電路光刻機制造、高端醫療和科研領域,打破該領域核心技術長期由少數國家壟斷的局面,獲得良好的經濟效益和社會效益。
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