ICP電感耦合等離子體發射光譜儀又稱為ICP光譜儀（ Inductive Coupled Plasma ）即以電感耦合高頻等離子體為激發光源，利用每種元素的原子或離子發射特征光譜來判斷物質的組成，而進行元素的定性與定量分析儀器。
一、工作原理
ICP電感耦合等離子體發射光譜儀又稱為ICP光譜儀（ Inductive Coupled Plasma ）即以電感耦合高頻等離子體為激發光源，利用每種元素的原子或離子發射特征光譜來判斷物質的組成，而進行元素的定性與定量分析儀器。原子發射光譜分析過程主要分三步，即激發、分光和檢測。
1：激發光源使試樣蒸發汽化，離解或分解為原子狀態，原子也可能進一步電離成離子狀態。原子及離子在光源中激發發光；
2：利用分光器把光源發射的光色散為按波長排列的光譜；
3：利用光電器件檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進行定性分析，或按發射光強度進行定量分析。
二、技術性能指標說明
1. 射頻發生器（RF）：
電路類型 | 電感反饋式自激振蕩電路，全自動點火，同軸電纜輸出匹配調諧，取功率反饋，進行閉環自動控制。 | 工作頻率 | 40.68MHZ±0.05% |
頻率穩定性 | <0.1% |
輸出功率 | 800－1500w |
輸出功率穩定性 | ≤0.3% |
電磁場泄漏射強度 | 距機身30cm |
電場強度E | <1V/m |
磁場強度H | <0.2A |
2、進樣系統:
輸出工作線圈內徑 | 25mm， 3匝 | 炬管 | 三重同心石英炬管 |
同軸型噴霧器外徑 | 6mm | 雙筒形霧室外徑 | 35mm |
氬氣流量計規格和載氣壓力表規格 | 等離子氣流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) |
輔助氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) |
載氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) |
載氣穩壓閥（0-0.6M Pa） |
3、測光系統:
光電倍增管規格 | R212UH | 信號采集為V/F交換 | 1mV對應100Hz |
光電倍增管負高壓 | 200-1000V 穩定性<0.05% | 光電倍增管電流測量范圍 | 10-12 -10-4A |
4、分光系統:
光路 | Czerny- Turner | 焦距 | 1000mm |
光柵規格 | 離子刻蝕全息光柵 | 刻線密度 | 3600線/mm |
分辨率 | ≤0.008nm | 刻線面積 | 80×110mm |
掃描波長范圍 | 3600線/mm | 波長范圍 | 180-500 nm |
透鏡 | ф30，1：1成像 | 入射狹縫 | 20µm |
發射鏡規格 | （78× 105 × 16）mm | 出射狹縫 | 20µm |
步進電機驅動最小步距 | 0.0005nm |
1、可檢測物體分類：
包括：金屬(鋼鐵,有色金屬)
化學、藥品、石油、樹脂、陶瓷等
生物、醫藥、食品等
環境(自來水,環境水,土壤,大氣粉塵)等
2、檢測范圍
是一種可以測定試樣中的金屬元素和部非金屬元素的大型分析儀器，可以對試樣進行定性、半定量和定量分析。它的測量范圍可從微量到常量
3、儀器可檢測元素檢出限（見下表）
元素名稱 | 元 素 符 號 | 檢出限ug/L | 元素名稱 | 元 素 符 號 | 檢出限ug/L |
銀 | Ag | 4.6 | 鈮 | Nb | 3.6 |
鋁 | Al | 9.5 | 釹 | Nd | 5.0 |
砷 | As | 10 | 鎳 | Ni | 4.8 |
金 | Au | 4.9 | 鋨 | Os | 0.4 |
硼 | B | 4.8 | 磷 | P | 9.9 |
鋇 | Ba | 0.3 | 鉛 | Pb | 42 |
鈹 | Be | 0.3 | 鈀 | Pd | 4.0 |
鉍 | Bi | 3.4 | 鐠 | Pr | 3.7 |
鈣 | Ca | 0.1 | 鉑 | Pt | 3.0 |
鎘 | Cd | 0.5 | 銣 | Rb | 1.5 |
鈰 | Ce | 12 | 錸 | Re | 6 |
鈷 | Co | 4.0 | 銠 | Rh | 44 |
鉻 | Cr | 4.1 | 釕 | Ru | 3.0 |
銅 | Cu | 2.4 | 銻 | Sb | 3.2 |
鏑 | Dy | 0.3 | 鈧 | Sc | 0.8 |
鉺 | Er | 2.9 | 硒 | Se | 7.5 |
銪 | Eu | 0.7 | 硅 | Si | 0.7 |
鐵 | Fe | 0.3 | 釤 | Sm | 4.3 |
鎵 | Ga | 4.6 | 錫 | Sn | 25 |
釓 | Gd | 3.0 | 鍶 | Sr | 0.4 |
鍺 | Ge | 4.0 | 鉭 | Ta | 2.5 |
鉿 | Hf | 1.5 | 鋱 | Tb | 23 |
汞 | Hg | 9.7 | 碲 | Te | 4.1 |
鈥 | Ho | 2.9. | 釷 | Th | 6.5 |
碘 | I | 40 | 鈦 | Ti | 2.8 |
銦 | In | 63 | | Tl | 4.0 |
銥 | Ir | 9.5 | 銩 | Tm | 2.2 |
鉀 | K | 60 | 鈾 | U | 2.5 |
鑭 | La | 0.3 | 釩 | V | 3.0 |
鋰 | Li | 1.8 | 鎢 | W | 10 |
镥 | Lu | 0.3 | 釔 | Y | 0.1 |
鎂 | Mg | 0.1 | 鐿 | Yb | 1.0 |
錳 | Mn | 1.4 | 鋅 | Zn | 0.3 |
鉬 | Mo | 4.9 | 鋯 | Zr | 4.1 |
鈉 | Na | 29 | | | |
每個元素靈敏度不一樣是每個元素特性決定的，就是同一個元素它也有靈敏線、次靈敏線等幾條甚至幾十條線不等。（每個元素有不同條特征譜線，軟件譜線庫里都已經詳細收錄。）
4、ICP電感耦合等離子體發射光譜儀使用成本
在使用中需要消耗氬氣，滿足要求的氬氣純度為99.99%，消耗標準約為12L/min.。
四、特點
1、分析速度快 一分鐘分析20個元素以上
2、精密度高 相對標準偏差RSD≤1.5%
3、穩定性好 相對標準偏差RSD≤2.0%
4、檢出限低 μg∕L
5、分析元素多 可對70多種元素進行定量分析
6、操作便捷 全新Windows運行環境功能齊全
7、全自動點火 降低使用難度，方便快捷
8、多重安全保護 低量冷卻水提醒保護、氬氣低值保護、滅弧保護，三重保護使用更安全。
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