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流量控制儀

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質量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC),它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。中文名 質量流量控制器 外文名 MASS FLOW CONTROLLER 用 途 用于對于氣體或者液體的質量 特 點 精度高,重復性好 類 型 質量流量計1簡介質量流量控制器它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。2用途與特點質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,C

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